芯片级工艺的高精度MEMS胎压传感器和智能气体传感器。清研智能源于清华大学,团队主要成员来自于清华,北大、中科院、斯坦福等国际知名高校和研究所,以及来自于航天和德国工业界,具有工业界和知名大学的复合型技术背景,拥有20年以上专业MEMS设计与制造工艺经验,拥有世界领先的车硅级高精度MEMS胎压传感器芯片和车用智能氮氧气体传感器。胎压监测系统(Tire Pressure Monitoring Systems,TPMS)可以在行驶过程中对轮胎的温度和气压进行实时监测,提前预警轮胎状态,确保行车安全。美国是全球最早立法将TPMS列为标准配备的国家,中国规定自2020年1月1日起所有在产乘用车将开始实施强制安装TPMS,预计中国TPMS市场将从2019年的20亿元增长到2020年的40亿元。但目前中国的TPMS芯片市场处于外资垄断的态势,国产芯片还在逐步发展成长阶段,亟需创新技术突破行业壁垒和实现市场突破。针对目前在售胎压传感器芯片的测量精度未达到理想目标要求的问题,研制出高精度MEMS胎压传感器芯片,精度高达0.01bar,比传统胎压传感器精度高一个数量级。氮氧气体传感器用于实时检测柴油车尾气中NOx含量,是柴油车尾气监测必不可少的传感器。国V和国VI排放标准的实施,对NOx的排放制定了苛刻的标准。仅是柴油车和旧车改造和售后市场需要氮氧传感器在200亿元人民币以上。目前,全球98%的车用氮氧传感器市场由德国大陆公司占有(日本NGK提供传感器陶瓷芯片给德国大陆公司,德国大陆提供电控单元及最终产品的封装和标定)。国内的氮氧传感器主要依赖进口,没有成熟的产品。本团队是全球唯一从陶瓷芯片制备到封装于一体的氮氧气体传感器供应商。